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Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung. 3. München, 13. November 1986
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1986
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 3180906219
OCLC-Nummer: 721439565, 721439565
Titel-ID: 990002978260106463
Format
168 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Integrierte Schaltung, Maskentechnik, Zeitschrift

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