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Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung. 4. München, 10. November 1987
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1987
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 3180906669
OCLC-Nummer: 888943069, 888943069
Titel-ID: 990002978270106463
Format
206 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Maskentechnik, Integrierte Schaltung

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