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Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung. 6. München, 9. November 1989
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1989
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 3180907959
OCLC-Nummer: 721902764, 721902764
Titel-ID: 990002978290106463
Format
217 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Mikroelektronisches Bauelement, Maskentechnik, Integrierte Schaltung

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