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Details

Titel
Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung. 9. München, 29. Oktober 1992
Ist Teil von
Auflage
[Nichtred. Ms.-Dr.]
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1992
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 3180910127
OCLC-Nummer: 722020631, 722020631
Titel-ID: 990002978300106463
Format
157 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
WAW
Schlagworte
Maskentechnik, Integrierte Schaltung

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