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Dry etching for microelectronics
Materials processing, theory and practices : 4 (Alle Bände)
1984
Signatur: YGY2181

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Dry etching for microelectronics
Ist Teil von
Ort / Verlag
Amsterdam [u.a.] : North-Holland Physics Publ.
Erscheinungsjahr
1984
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0444869050
OCLC-Nummer: 636652942, 636652942
Titel-ID: 990003547550106463
Format
XI, 299 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Trockenätzen, Ionenstrahlätzen, Mikroelektronik

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