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Semiconductor microlithography VI : March 30-31, 1981, San Jose, Calif
Proceedings of the SPIE, the International Society for optical engineering : 275 (Alle Bände)
Repr. on Demand, Nachdr. d. Ausg. Bellingham, 1981, 1981
Signatur: UAL810276

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Semiconductor microlithography VI : March 30-31, 1981, San Jose, Calif
Ist Teil von
Auflage
Repr. on Demand, Nachdr. d. Ausg. Bellingham, 1981
Ort / Verlag
Ann Arbor, Mich. [u.a.] : Univ. Microfilms Internat.
Erscheinungsjahr
1981
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0892523085
OCLC-Nummer: 1106628439, 1106628439
Titel-ID: 990003555950106463
Format
VI, 221 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UAL

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