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Details

Titel
Dokumentation Genauigkeit von Laserinterferometersystemen : Grundlagen, Prüfmethoden, Grenzwerte, Sicherheit, Beurteilung
Ist Teil von
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1989
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Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3180907509
OCLC-Nummer: 888966043, 888966043
Titel-ID: 990004997710106463
Format
160 S. : graph. Darst.
Systemstelle
WFB, UGD
Schlagworte
Laserinterferometrie, Messgenauigkeit

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