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BibTeX
Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Seidl, Albert
1988
Signatur:
D1752
Details
Autor(en) / Beteiligte
Seidl, Albert
Titel
Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Erscheinungsjahr
1988
Beschreibungen/Notizen
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1046244605, 1046244605
Titel-ID: 990005034320106463
Format
122 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
YGY
,
YEM
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