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Deltadotierprofile in Silizium
1989
Signatur: D5579

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Deltadotierprofile in Silizium
Erscheinungsjahr
1989
Beschreibungen/Notizen
  • München, Univ. d. Bundeswehr, Diss., 1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636976273, 636976273
Titel-ID: 990005134340106463
Format
99 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
UIY, YGY
Schlagworte
Silicium, Molekularstrahlepitaxie, Deltadotierung

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