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Abscheidungskinetik und Eigenschaften von magnetrongesputterten ZrNx-, NbNx- und MoNx-Hartstoffschichten
1989
Signatur: D1629

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Abscheidungskinetik und Eigenschaften von magnetrongesputterten ZrNx-, NbNx- und MoNx-Hartstoffschichten
Erscheinungsjahr
1989
Beschreibungen/Notizen
  • Stuttgart, Univ., Diss., 1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1067420847, 1067420847
Titel-ID: 990005162380106463
Format
121 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKQ
Schlagworte
Hartstoff, Beschichtung, Ausscheidung, Kinetik

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