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Abbildung von Schnitten durch p/n-Übergänge im Rasterelektronenmikroskop mittels strahlinduzierten Stromes bei niedrigen Beschleunigungsspannungen
1989
Signatur: D1979

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Abbildung von Schnitten durch p/n-Übergänge im Rasterelektronenmikroskop mittels strahlinduzierten Stromes bei niedrigen Beschleunigungsspannungen
Erscheinungsjahr
1989
Beschreibungen/Notizen
  • München, Techn. Univ., Diss., 1989
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1067652694, 1067652694
Titel-ID: 990005302370106463
Format
V, 121 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIO
Schlagworte
pn-Übergang, Dotierungsprofil, Rasterelektronenmikroskop, Raumladung, Halbleiterbauelement, Rasterelektronenmikroskopie

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