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Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
1990
Signatur: D5568

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
Erscheinungsjahr
1990
Beschreibungen/Notizen
  • Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 722276240, 722276240
Titel-ID: 990005486850106463
Format
125 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY

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