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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Defect control in semiconductors : proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors ; the Yokohama 21. Century Forum, Yokohama, Japan, September 17 - 22, 1989
Ort / Verlag
Amsterdam [u.a.] : North-Holland Publ.
Bände
Beschreibungen/Notizen
  • Erschienen: Vol. 1 - 2
Sprache
Identifikatoren
ISBN: 0444884297
OCLC-Nummer: 1072528127, 1072528127
Titel-ID: 990005488580106463
Format
Systemstelle
YCM, YEM, XVI

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