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Halbleiter-Technologie : eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen
1991
Signatur: YGY1795

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Halbleiter-Technologie : eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen
Ort / Verlag
Stuttgart : Teubner
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3519061333
OCLC-Nummer: 1067648341, 1067648341
Titel-ID: 990005508800106463
Format
XI, 812 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
UIY, YEM, YGY
Schlagworte
Silicium, Halbleitertechnologie, Drei-Fünf-Halbleiter

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