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Prozesstechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Mikroelektronik
1991
Signatur: YGY1850

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Prozesstechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Ist Teil von
  • Mikroelektronik
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1991
Beschreibungen/Notizen
  • Literaturverz. S. 469 - 488
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 3540176705
OCLC-Nummer: 246511117, 246511117
Titel-ID: 990005610750106463
Format
XVI, 497 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
YGY
Schlagworte
CMOS-Schaltung, Halbleitertechnologie

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