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Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflächengeometrie
1991
Signatur: DQ1431

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflächengeometrie
Erscheinungsjahr
1991
Beschreibungen/Notizen
  • Karlsruhe, Univ., Diss. 1991
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 916330228, 916330228
Titel-ID: 990005626100106463
Format
117 S. : graph. Darst.
Systemstelle
YGY

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