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BibTeX
Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
Burbaum, Christoph
1991
Signatur:
DQ1509
Details
Autor(en) / Beteiligte
Burbaum, Christoph
Titel
Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
Erscheinungsjahr
1991
Beschreibungen/Notizen
Karlsruhe, Univ., Diss., 1991
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 75204717, 75204717
Titel-ID: 990005815050106463
Format
64 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
Systemstelle
XXL
,
XXM
,
YGY
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