Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Zur Ergebnisliste
Ergebnis 5 von 31
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie
1992
Signatur: UIU3248

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie
Ort / Verlag
Düsseldorf : VDI-Verl.
Erscheinungsjahr
1992
Link zu anderen Inhalten
Beschreibungen/Notizen
  • Literaturverz. S. 123 - 129
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3184010694
OCLC-Nummer: 75234222, 75234222
Titel-ID: 990005844820106463
Format
VII, 131 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIU
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Ionenstrahlbearbeitung

Lade weitere Informationen...