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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1991
Signatur: YGY2000

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Ist Teil von
  • Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
Ort / Verlag
Park Ridge, NJ : Noyes
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0815512813
OCLC-Nummer: 246960245, 246960245
Titel-ID: 990006055770106463
Format
XXII, 649 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB, YFC, UIY, YGY
Schlagworte
Lithografie, VLSI, Fotolithografie

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