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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
Glendinning, William B
[Herausgeber]
1991
Signatur:
YGY2000
Details
Autor(en) / Beteiligte
Glendinning, William B
[Herausgeber]
Titel
Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Ist Teil von
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
Ort / Verlag
Park Ridge, NJ : Noyes
Erscheinungsjahr
1991
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0815512813
OCLC-Nummer: 246960245, 246960245
Titel-ID: 990006055770106463
Format
XXII, 649 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
,
YFC
,
UIY
,
YGY
Schlagworte
Lithografie
,
VLSI
,
Fotolithografie
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