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BibTeX
Handbook of ion implantation technology
Ziegler, James F
[Herausgeber]
1992
Signatur:
UIQ4472
Details
Autor(en) / Beteiligte
Ziegler, James F
[Herausgeber]
Titel
Handbook of ion implantation technology
Ort / Verlag
Amsterdam [u.a.] : North-Holland
Erscheinungsjahr
1992
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0444897356
OCLC-Nummer: 246572225, 246572225
Titel-ID: 990006093920106463
Format
VII, 700 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UID
,
UIQ
Schlagworte
Ionenimplantation
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