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Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
KfK : 5171 (Alle Bände)
Als Ms. gedr, 1993
Signatur: DQ1805

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Karlsruhe
Erscheinungsjahr
1993
Beschreibungen/Notizen
  • In d. Vorlage auch: ISSN 0303-4003
  • Karlsruhe, Univ., Diss. A. Michel
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 75414900, 75414900
Titel-ID: 990006188290106463
Format
84 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY

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