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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
2., völlig neubearb. Aufl, 1994
Signatur: YFC1165(2)

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
Auflage
2., völlig neubearb. Aufl
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1994
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Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3540573607, 0387573607
OCLC-Nummer: 636847468, 636847468
Titel-ID: 990006484950106463
Format
X, 434 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY, ZJQ, YFC
Schlagworte
Glimmentladung, Kaltes Plasma, Trockenätzen, Sputtern, Niederdruckplasma

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