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Chemistry of metal CVD
1994
Signatur: ZNKC1342

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Chemistry of metal CVD
Ort / Verlag
Weinheim [u.a.] : VCH
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3527290710
OCLC-Nummer: 246879255, 246879255
Titel-ID: 990006607090106463
Format
XXIV, 530 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UQS, YFB, ZNKC
Schlagworte
CVD-Verfahren

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