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IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : July 19 - 20, 1993, San Francisco, CA, USA
1993
Signatur: XVI930983

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
IEEE/SEMI International Semiconductor Manufacturing Science Symposium : July 19 - 20, 1993, San Francisco, CA, USA
Ort / Verlag
Piscataway, NJ : IEEE Service Center
Erscheinungsjahr
1993
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0780312120, 0780312139
OCLC-Nummer: 1072061433, 1072061433
Titel-ID: 990006633330106463
Format
152 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XWQ, YEM, XVI
Schlagworte
Halbleiter, Fertigung

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