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Handbook of sputter deposition technology : principles, technology and applications
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1992
Signatur: YFC1181

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of sputter deposition technology : principles, technology and applications
Ist Teil von
  • Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
Ort / Verlag
Park Ridge, NJ : Noyes
Erscheinungsjahr
1992
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0815512805
OCLC-Nummer: 246527051, 246527051
Titel-ID: 990006708490106463
Format
XII, 304 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
Systemstelle
UIY, YFC
Schlagworte
Sputtern, Dünnschichttechnik, Beschichten

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