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Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt : 5574
(
Alle Bände
)
Köhler, Uwe
Guber, Andreas
Bier, Wilhelm
Als Ms. gedr, 1995
Signatur:
DQ1901
Details
Autor(en) / Beteiligte
Köhler, Uwe
Guber, Andreas
Bier, Wilhelm
Titel
Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom
Ist Teil von
Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt : 5574
(
Alle Bände
)
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
Zsfassung in dt. und engl. Sprache
Karlsruhe, Univ., Diss., 1995 von Uwe Köhler
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1067976964, 1067976964
Titel-ID: 990006768470106463
Format
52 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKS
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