Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Zur Ergebnisliste
Ergebnis 16 von 43
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Elektron-Zyklotron-Resonanz-Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung, Schichtdeposition und Diagnostik
1995
Signatur: D10405

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Elektron-Zyklotron-Resonanz-Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung, Schichtdeposition und Diagnostik
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Wuppertal, Univ., Diss., 1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 637218617, 637218617
Titel-ID: 990006885850106463
Format
XIV, 133 S. : graph. Darst.
Systemstelle
YCH

Lade weitere Informationen...