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BibTeX
Ion solid interactions : fundamentals and applications
Cambridge solid state science series
Nastasi, Michael
Mayer, James W
Hirvonen, James K
1996
Signatur:
UFB1142
Details
Autor(en) / Beteiligte
Nastasi, Michael
Mayer, James W
Hirvonen, James K
Titel
Ion solid interactions : fundamentals and applications
Ist Teil von
Cambridge solid state science series
Ort / Verlag
Cambridge : Cambridge University Press
Erscheinungsjahr
1996
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Inhaltsverzeichnis
Beschreibungen/Notizen
Includes bibliographies and index
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 052137376X
OCLC-Nummer: 832666562, 832666562
Titel-ID: 990006994020106463
Format
XXVI, 540 S. : Ill.
Systemstelle
UFB
Schlagworte
Ionenimplantation
,
Ionenstrahlbearbeitung
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