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Analytische und simulative Leistungsbewertung des photolithographischen Prozesses mit Petri-Netzen
1995
Signatur: D10712

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Analytische und simulative Leistungsbewertung des photolithographischen Prozesses mit Petri-Netzen
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen, Univ., Techn. Fakultät, Diss., 1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 637011376, 637011376
Titel-ID: 990007042380106463
Format
138 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY

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