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Mikromechanisch hergestellter Zerstäuber für kleine Flüssigkeitsmengen
1996
Signatur: D10907

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Mikromechanisch hergestellter Zerstäuber für kleine Flüssigkeitsmengen
Erscheinungsjahr
1996
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1996
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 637324090, 637324090
Titel-ID: 990007121920106463
Format
II, 89 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UDD, UJJ, XWO, YGL
Schlagworte
Ultraschallvernebelung, Zerstäuber, Siliciumbauelement, Mikromechanik

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