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Realisierung und Analyse von Prozeßfolgen zur Optimierung von selbstjustierten integrierten Si/SiGe-Heteropolartransistoren
1996
Signatur: D11200

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Realisierung und Analyse von Prozeßfolgen zur Optimierung von selbstjustierten integrierten Si/SiGe-Heteropolartransistoren
Erscheinungsjahr
1996
Beschreibungen/Notizen
  • Bochum, Univ., Diss., 1996
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1070862605, 1070862605
Titel-ID: 990007146630106463
Format
XII, 207 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YEP

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