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Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
SPIE Press monograph : ..., IEE materials and devices series : ...
1997-
Signatur: UIY2420

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
Ist Teil von
  • SPIE Press monograph : ...
  • IEE materials and devices series : ...
Ort / Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press [u.a.]
Erscheinungsjahr
1997-
Bände
Sprache
Englisch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 632281875, 632281875
Titel-ID: 990007238490106463
Format
–
Systemstelle
YFC, UIY
Schlagworte
Lithografie, Mikromechanik

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