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BibTeX
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Köhler, Michael
1998
Signatur:
YFB3243
Details
Autor(en) / Beteiligte
Köhler, Michael
Titel
Ätzverfahren für die Mikrotechnik
Ort / Verlag
Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
1998
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Inhaltsverzeichnis
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3527288694
OCLC-Nummer: 245631184, 245631184
Titel-ID: 990007618630106463
Format
XVI, 398 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
ZKP
,
YGY
,
UTP
,
YFB
Schlagworte
Ätzen
,
Mikrosystemtechnik
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