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Untersuchungen zur Gasphasenzüchtung nach dem modifizierten Lely-Verfahren als Herstellungsprozeß für einkristalline Siliziumkarbid-Volumenkristalle
1998
Signatur: D11932

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Untersuchungen zur Gasphasenzüchtung nach dem modifizierten Lely-Verfahren als Herstellungsprozeß für einkristalline Siliziumkarbid-Volumenkristalle
Erscheinungsjahr
1998
Beschreibungen/Notizen
  • Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1998
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1106729909, 1106729909
Titel-ID: 990007660480106463
Format
100 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIR

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