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Unterstützung der Produktionsplanung in der Halbleiterfertigung durch risikoberücksichtigende Betriebskennlinien
Forschungsberichte aus dem Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik der Universität Karlsruhe : 93 (Alle Bände)
1999
Signatur: YEA3252

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Unterstützung der Produktionsplanung in der Halbleiterfertigung durch risikoberücksichtigende Betriebskennlinien
Ist Teil von
Ort / Verlag
Karlsruhe : Inst. für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik
Erscheinungsjahr
1999
Beschreibungen/Notizen
  • Karlsruhe, Univ., Diss., 1999
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 313175155, 313175155
Titel-ID: 990008141820106463
Format
IV, 152 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YEA

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