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Tagungsband / 7. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen : im Rahmen der gemeinsamen Statusseminare zu den BMBF-Verbundprojekten CADWOK, DEMIS, MIMOSYS, SESAM, SIMKOS ; 21. und 22. Januar 1999, Paderborn
Auflage
Fotomechan. Ms.-Nachdr
Ort / Verlag
Paderborn : FhG IZM, Advanced System Engineering, Projekt MIMOSYS