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Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
2002
Signatur: P1600

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
Erscheinungsjahr
2002
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Verknüpfte Titel
Beschreibungen/Notizen
  • Paderborn, Univ., Diss., 2002
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1106733553, 1106733553
Titel-ID: 990008795100106463
Format
II, 100 S.; Ill., graph. Darst.; 21 cm
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Rotationssensor, Entwurf, Mikromechanik, Oberflächenmontage, CMOS, Siliciumbauelement

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