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Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik [Elektronische Ressource]
Sasse, Philipp Wilhelm
2002
Details
Autor(en) / Beteiligte
Sasse, Philipp Wilhelm
Titel
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik [Elektronische Ressource]
Erscheinungsjahr
2002
Link zum Volltext
Volltext
Verknüpfte Titel
Beschreibungen/Notizen
Paderborn, Univ., Diss., 2002
Open Access
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
URN: urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
OCLC-Nummer: 1106957485, 1106957485
Titel-ID: 990008795160106463
Format
–
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Rotationssensor
,
Entwurf
,
Mikromechanik
,
Oberflächenmontage
,
CMOS
,
Siliciumbauelement