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Enabling technology for MEMS and nanodevices
Advanced micro & nanosystems : 1 (Alle Bände)
2004
Signatur: YFB3421-1

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Enabling technology for MEMS and nanodevices
Ist Teil von
Ort / Verlag
Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
2004
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 352730746X
OCLC-Nummer: 249234132, 249234132
Titel-ID: 990008823220106463
Format
XII, 427 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Nanotechnologie

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