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BibTeX
Mechanical microsensors
Microtechnology and mems, Physics and astronomy online library
Elwenspoek, Miko
Wiegerink, Remco J
2001
Signatur:
YFB3439
Details
Autor(en) / Beteiligte
Elwenspoek, Miko
Wiegerink, Remco J
Titel
Mechanical microsensors
Ist Teil von
Microtechnology and mems
Physics and astronomy online library
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
2001
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Inhaltsverzeichnis
Buchumschlag
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540675825
OCLC-Nummer: 248008142, 248008142
Titel-ID: 990008857160106463
Format
X, 295 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XXL
,
YFB
Schlagworte
Mikrosensor
,
Siliciumsensor
,
Mikromechanik
,
Halbleitertechnologie
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