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Low dielectric constant materials for IC applications
Springer series in advanced microelectronics : 9 (Alle Bände), Physics and astronomy online library
2003
Signatur: XWW1178

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Low dielectric constant materials for IC applications
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
2003
Link zu anderen Inhalten
Beschreibungen/Notizen
  • Literaturangaben
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540678190
OCLC-Nummer: 248880962, 248880962
Titel-ID: 990009068650106463
Format
XIX, 309 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XWW
Schlagworte
Integrierte Schaltung, Werkstoff, Dielektrische Eigenschaft

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