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BibTeX
Low dielectric constant materials for IC applications
Springer series in advanced microelectronics : 9
(
Alle Bände
), Physics and astronomy online library
Ho, Paul S
[Herausgeber]
2003
Signatur:
XWW1178
Details
Autor(en) / Beteiligte
Ho, Paul S
[Herausgeber]
Titel
Low dielectric constant materials for IC applications
Ist Teil von
Springer series in advanced microelectronics : 9
(
Alle Bände
)
Physics and astronomy online library
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
2003
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Inhaltsverzeichnis
Buchumschlag
Beschreibungen/Notizen
Literaturangaben
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540678190
OCLC-Nummer: 248880962, 248880962
Titel-ID: 990009068650106463
Format
XIX, 309 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XWW
Schlagworte
Integrierte Schaltung
,
Werkstoff
,
Dielektrische Eigenschaft
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