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Handbook of semiconductor manufacturing technology
2000
Signatur: MQ17686

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of semiconductor manufacturing technology
Ort / Verlag
New York [u.a.] : Dekker
Erscheinungsjahr
2000
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0824787838
OCLC-Nummer: 247571738, 247571738
Titel-ID: 990009232150106463
Format
XIV, 1157 S.: Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XWQ, YEM, YET
Schlagworte
Halbleitertechnologie, Fertigung

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