Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Focused ion beam systems : basics and applications
- Ort / Verlag
- Cambridge [u.a.] : Cambridge Univ. Press
- Erscheinungsjahr
- 2007
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9780521831994OCLC-Nummer: 255897279, 255897279Titel-ID: 990012103890106463
- Format
- XI, 395 S. : zahlr. Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- UFB
- Schlagworte
- Ionenstrahl