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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 1. Solid state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology (Alle Bände)
3. ed, c 2012
Signatur: MQ27023

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 1. Solid state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology
Ist Teil von
Auflage
3. ed
Ort / Verlag
Boca Raton [u.a.] : CRC Press
Erscheinungsjahr
c 2012
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Beschreibungen/Notizen
  • Lag erstmals 2011 vor
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9781420055115
OCLC-Nummer: 753227605, 753227605
Titel-ID: 990017072990106463
Format
XIII, 641 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB

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