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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology
Ist Teil von
Auflage
3. ed
Ort / Verlag
Boca Raton [u.a.] : CRC Press
Erscheinungsjahr
c 2012
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Beschreibungen/Notizen
  • Lag erstmals 2012 vor1
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9781420055191
OCLC-Nummer: 753229102, 753229102
Titel-ID: 990017073000106463
Format
XIII, 656 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB

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