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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology (Alle Bände)
3. ed, c 2012
Signatur: MQ27025

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
Ist Teil von
Auflage
3. ed
Ort / Verlag
Boca Raton [u.a.] : CRC Press
Erscheinungsjahr
c 2012
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Beschreibungen/Notizen
  • Lag erstmals 2011 vor
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9781420055160
OCLC-Nummer: 753187426, 753187426
Titel-ID: 990017073010106463
Format
XIII, 636 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB

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