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Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application
Advanced micro & nanosystems : 11 (Alle Bände)
1. ed, 2015
Signatur: YFB3421-11

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application
Ist Teil von
Auflage
1. ed
Ort / Verlag
Weinheim, Germany : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
2015
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Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9783527335459, 3527335455
OCLC-Nummer: 910311695, 910311695
Titel-ID: 990017984850106463
Format
XXV, 483 S. : zahlr. Ill. und graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
MEMS, Nanoelektromechanik, Resonator

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