Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Foundations of MEMS
- Auflage
- Second edition
- Ort / Verlag
- Upper Saddle River, NJ : Prentice Hall
- Erscheinungsjahr
- [2012]
- Beschreibungen/Notizen
- Includes bibliographical references and index
- Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 0132497360, 9780132497367OCLC-Nummer: 837718886, 837718886Titel-ID: 990019933970106463
- Format
- xiv, 562 Seiten; Illustrationen; 24 cm
- Systemstelle
- YFB
- Schlagworte
- MEMS, Microelectromechanical systems